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第五百二十一章 只要锄头挥的好,没有墙角挖不倒

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衬托胜利者的炮灰。

深紫外光DUV技术,能不能赢下来,比现在的光刻机霸主尼康、佳能,都率先突破193纳米的制程,老实说,林泍坚心头也没底,这条路如果好走的话,IBM当初也不会直接放弃了,去搞什么X光微影技术。

“但不到最后,谁又敢说,深紫外光DUV,不会成为最后的赢家呢?”李东陵看着林泍坚说道。

林泍坚闻言,无奈苦笑一声,“但成本太高了,要证明这条路是否正确,可能要投入数以亿计的美元,而如果失败,那可能全都打了水漂!”

“可不尝试,谁又知道,是否能成?”

林泍坚这时候,神情已经有些意动了,李东陵愿意支持他的DUV项目,那说不得,真能弥补职业生涯的遗憾。

但有东芯半导体愿意买单,也不意味着,真就高枕无忧了,如果研发失败,巨额的研发费用打了水漂,那林泍坚可以说是要晚节不保了。

李东陵看到林泍坚,还带着几分犹豫不决的神色,再度放出一个大招。

“林博士,我并非是光刻机跟芯片行业的专业人士,所言只是异想天开,林博士只当听个笑话罢了。

现在不论是哪种光源的光刻机技术,离子投射、ArF、X光、DUV等,都属于以空气为媒介的干式光刻机,但如果把空气,换成水或者其它媒介呢……”

李东陵对于光刻机确实不是行家,但前世光刻机的传闻,多少有所耳闻,而其中最有名的,莫过于使用水作为光刻机的媒介,通过水的折射,将光源缩短投印在电路上。

听到李东陵的话,林泍坚刚开始,还只是一笑了之,随后面容变的越来越严肃。

李东陵的意思,林泍坚当然听的明白,乍一听,感觉似乎有些不靠谱,作为从业了一辈子的老炮,他可以找出李东陵这方法的各种漏洞,譬如使用水做媒介,会不会产生气泡,会不会污染设备,还有防水、水会发热膨胀、蒸发、影响精确度等各种问题。

但这些问题之外呢,林泍坚猛然想到,按照这套方法,是真有希望,把193纳米的光源,通过水的折射,直接变成134纳米的光源,从而一举绕过193纳米的天堑!

林泍坚心头跳动,猛然加快了几分,这套方法,理论上是可行的,哪怕它只是理论上的,至于那些问题,都有希望被解决!

“这也许就是当局者迷旁观者清,整个半导体行业,这些年来,都被传统思维禁锢住了!

李总,你是个


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